多維科技擁有三臺(tái)磁性隧道結(jié)納米真空鍍膜機(jī),分別為MDT-1,,MDT-2,,MDT-3。上圖為MDT-1,。
MDT-1:高真空磁控濺射鍍膜機(jī),能進(jìn)行8寸晶圓薄膜金屬加工,,其最薄厚度能至埃米級(jí)別,,且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料,多達(dá)100層金屬薄膜,,該系統(tǒng)擁有700℃以上的溫度能力,。
MDT-2:高真空磁控濺射鍍膜機(jī),,能進(jìn)行8寸晶圓薄膜金屬加工,其最薄厚度能至埃米級(jí)別,,且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料,,多達(dá)100層金屬薄膜。
MDT-3:高真空磁控濺射鍍膜機(jī),,能進(jìn)行12寸晶圓薄膜金屬加工,,其最薄厚度能至埃米級(jí)別,且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料,,多達(dá)100層金屬薄膜,。
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