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刻蝕
刻蝕

icon IBE

實(shí)現(xiàn)納米到亞微米級(jí)別金屬膜和介質(zhì)膜的刻蝕,,并與 IBD 配套使用

刻蝕
icon 反應(yīng)離子刻蝕

dot  Lam 9600金屬刻蝕機(jī) (Al, Ti, TiW, Ta, AlCu, AlSi 等金屬高垂直度刻蝕,,配備去膠及清洗腔)

dot  TEL 雙腔鈍化膜刻蝕機(jī)臺(tái) (雙刻蝕腔,可高速刻蝕 SiO2, SiN, DLC 等厚鈍化膜)

dot  Plasma-Therm ICP 刻蝕機(jī) (單刻蝕腔,,可控刻蝕速率刻蝕 DLC, SiO2, SiN, PI 等鈍化薄膜刻蝕)

dot  STS-HR 刻蝕機(jī) (普通 Si 刻蝕,,深硅刻蝕等)



IBD/IBE

IBD/IBE

plasma therm刻蝕機(jī)

Plasma therm 刻蝕機(jī)

lam9600 金屬刻蝕機(jī)

Lam9600 金屬刻蝕機(jī)
TEL DRM 氧化物刻蝕機(jī)




為什么選擇多維科技做為晶圓代工合作伙伴?

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多維科技建有國內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線

多維科技xMR磁傳感器晶圓制造產(chǎn)線已運(yùn)營 10 多年,,建有國內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線,,年產(chǎn)能達(dá) 10 億顆芯片,,配備了包含 xMR、退火,、刻蝕,、金屬互連、光刻,、去膠等復(fù)雜晶圓制造工藝的先進(jìn)設(shè)備,。多維科技晶圓制造產(chǎn)線的專業(yè)生產(chǎn)技術(shù)團(tuán)隊(duì)服務(wù)過多個(gè)磁傳感器晶圓制造項(xiàng)目,擁有豐富的磁傳感器晶圓制造技術(shù)和經(jīng)驗(yàn),,可助力客戶產(chǎn)品快速進(jìn)入市場(chǎng)和提高產(chǎn)品迭代進(jìn)度。

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多維科技提供全方位晶圓代工服務(wù)

多維科技向客戶提供全方位的 8 英寸 xMR 磁傳感器晶圓代工服務(wù),,包括磁傳感器晶圓研發(fā)量產(chǎn)及測(cè)試服務(wù),。多維科技晶圓制造技術(shù)可達(dá)行業(yè)高標(biāo)準(zhǔn)要求。晶圓測(cè)試服務(wù)包括晶圓測(cè)試程序開發(fā),,失效分析和可靠性測(cè)試等全面的測(cè)試服務(wù),。多維科技晶圓制造產(chǎn)線可根據(jù)客戶需求對(duì)生產(chǎn)工藝流程進(jìn)行快速優(yōu)化,從而為客戶提供高效的晶圓代工服務(wù),。


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多維科技提供專業(yè)的設(shè)計(jì)和 IP 授權(quán)服務(wù)

多維科技晶圓代工設(shè)計(jì)服務(wù)可根據(jù)客戶需求,,提供磁傳感器設(shè)計(jì)或輔助設(shè)計(jì),包括掩膜版設(shè)計(jì),、磁器件仿真和工藝流程開發(fā)等各種晶圓代工設(shè)計(jì)服務(wù),。同時(shí),為了向客戶提供更好的晶圓代工設(shè)計(jì)服務(wù),,多維科技還開放了知識(shí)產(chǎn)權(quán) (IP) 授權(quán)服務(wù),,客戶可根據(jù)設(shè)計(jì)需求將多維科技相關(guān)的 IP 整合進(jìn)自己的產(chǎn)品中,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品開發(fā)量產(chǎn)進(jìn)一步的降本增效,。



磁傳感器晶圓制造工藝