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Metalization PVD (ULVAC PVD)

可以鍍膜多種金屬粘附層,，種子層，導線層

IBD

實現(xiàn)納米到亞微米級別金屬膜和介質(zhì)膜的沉積,，并與 IBE 配套使用

ALD

可以在 150℃ - 275℃ 溫度區(qū)間實現(xiàn)亞納米級別介質(zhì)膜沉積,，膜厚一致性在 1% 以下

EVD

電子束蒸發(fā)鍍膜，實現(xiàn)微米級別介質(zhì)膜的沉積,，膜厚一致性在 1% 以下

PE-CVD (Applied PECVD, ULVAC PECVD, PlasmaTherm PECVD)

支持 150°C - 400°C 之間的鈍化膜沉積

High Temperature Oxidation Oven (高溫氧化爐)

可以做 1200°C 熱氧化,，1μm 左右氧化膜

Magnetic Annealing Furnace (5T)

高真空高溫磁場回火爐可以提供最高 500°C 高溫，最強 5T 磁場,，真空可達 -5Pa

多維科技建有國內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線

多維科技xMR磁傳感器晶圓制造產(chǎn)線已運營 10 多年,，建有國內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線，年產(chǎn)能達 10 億顆芯片,，配備了包含 xMR,、退火、刻蝕,、金屬互連,、光刻、去膠等復雜晶圓制造工藝的先進設備,。多維科技晶圓制造產(chǎn)線的專業(yè)生產(chǎn)技術團隊服務過多個磁傳感器晶圓制造項目,，擁有豐富的磁傳感器晶圓制造技術和經(jīng)驗，可助力客戶產(chǎn)品快速進入市場和提高產(chǎn)品迭代進度,。

多維科技提供全方位晶圓代工服務

多維科技向客戶提供全方位的 8 英寸 xMR 磁傳感器晶圓代工服務,，包括磁傳感器晶圓研發(fā)量產(chǎn)及測試服務。多維科技晶圓制造技術可達行業(yè)高標準要求,。晶圓測試服務包括晶圓測試程序開發(fā),，失效分析和可靠性測試等全面的測試服務。多維科技晶圓制造產(chǎn)線可根據(jù)客戶需求對生產(chǎn)工藝流程進行快速優(yōu)化,，從而為客戶提供高效的晶圓代工服務,。

多維科技提供專業(yè)的設計和 IP 授權服務

多維科技晶圓代工設計服務可根據(jù)客戶需求，提供磁傳感器設計或輔助設計,，包括掩膜版設計,、磁器件仿真和工藝流程開發(fā)等各種晶圓代工設計服務。同時,，為了向客戶提供更好的晶圓代工設計服務,，多維科技還開放了知識產(chǎn)權 (IP) 授權服務,，客戶可根據(jù)設計需求將多維科技相關的 IP 整合進自己的產(chǎn)品中，實現(xiàn)產(chǎn)品開發(fā)量產(chǎn)進一步的降本增效,。