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方塊電阻

測量各種金屬材料薄膜方塊電阻

膜厚測量

測量各種絕緣物厚度 (>10nm)

顆粒測量系統(tǒng)

測量硅晶圓基板表面顆粒數(shù)量

應(yīng)力測量系統(tǒng)

測量硅晶圓基板翹曲度

CIPT

測量 TMR 薄膜層電特性 Ra/TMR

面內(nèi)/垂直高場 KERR

測量 TMR 薄膜層/磁性材料層的平行面內(nèi)/垂直磁光特性

VSM

測量 TMR 薄膜層/磁性材料層的磁特性

BH looper

測量 TMR 薄膜層/磁性材料層的磁特性

MOKE-顯微鏡

測量 TMR 薄膜層/磁性材料的顯微磁疇圖像

XRD

直接測量 5nm - 100nm 金屬層厚度以及材料晶格結(jié)構(gòu)分析

晶圓 CP 測試服務(wù)

多維科技的晶圓 CP 測試服務(wù)包括：ASIC 晶圓和各類磁傳感器晶圓測試程序開發(fā)與編寫,，
以及晶圓的研發(fā)測試和量產(chǎn)測試及數(shù)據(jù)分析服務(wù)

磁傳感晶圓 CP 測試

測量儀配備X/Y/Z三軸電磁鐵和雙通道模擬測試模塊，適合各類磁傳感器晶圓的平面磁場,、角度磁場,、旋轉(zhuǎn)磁場及高溫等環(huán)境下的器件產(chǎn)品輸出的曲線測試。
晶圓尺寸 ：6/8 寸
機臺數(shù)量：4 臺
測試磁場范圍： 0 ~ 5000Gs

磁傳感晶圓高低溫 CP 測試

測量儀是多維定制機臺,，配備 X/Y/Z 三軸電磁鐵和高精密儀表,，適合磁傳感器晶圓的平面磁場、旋轉(zhuǎn)磁場及高低溫等環(huán)境下的器件產(chǎn)品輸出的曲線測試,。
晶圓尺寸 ：6/8/12 寸
機臺數(shù)量：1 臺
測試磁場范圍： 0 ~ 300Gs
溫度范圍：-45℃ ~ 180℃

ASIC 晶圓 CP 測試

測量儀配備多路模擬測試板卡,，適合各類 ASIC 晶圓產(chǎn)品的量產(chǎn)和研發(fā)測試。
晶圓尺寸 ：6/8/12 寸
機臺數(shù)量：6 臺

失效分析和材料分析

多維科技建立了完善的 MA 和 FA 實驗室,，以支持來料,、制程和出貨監(jiān)控以及研發(fā)評估和失效分析，
及時的分析反饋縮短了交付時長,，并保障了產(chǎn)品質(zhì)量

FIB/SEM

離子束刻蝕微區(qū)關(guān)注點,，切面形貌觀察,、測量及元素成分分析一體化分析

SEM/EDS

數(shù)萬倍放大形貌分析及測量,，可對樣品聚焦部位做元素成分測試或面掃 Mapping

AFM

nm 級高度差 & 粗糙度測試，最大測試范圍 80μm

C-SAM (SAT)

μm 級分辨率,，封裝分層 & 空洞檢查

FTIR

有機材料 & 污染物成分分析,，配備顯微紅外顯微鏡，最小分析尺寸 5 - 10μm

其它設(shè)備

FEI 雙束 FIB/SEM

Hitachi 臺式掃描電鏡/能譜

Keyence 3D 顯微鏡

SOPTOP 金相顯微鏡

Zygo 白光干涉輪廓儀

TOPS 激光開封機

切割機

磨拋機

多維科技建有國內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線

多維科技xMR磁傳感器晶圓制造產(chǎn)線已運營 10 多年,，建有國內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線,，年產(chǎn)能達 10 億顆芯片，配備了包含 xMR,、退火,、刻蝕、金屬互連,、光刻,、去膠等復雜晶圓制造工藝的先進設(shè)備,。多維科技晶圓制造產(chǎn)線的專業(yè)生產(chǎn)技術(shù)團隊服務(wù)過多個磁傳感器晶圓制造項目，擁有豐富的磁傳感器晶圓制造技術(shù)和經(jīng)驗,，可助力客戶產(chǎn)品快速進入市場和提高產(chǎn)品迭代進度,。

多維科技提供全方位晶圓代工服務(wù)

多維科技向客戶提供全方位的 8 英寸 xMR 磁傳感器晶圓代工服務(wù)，包括磁傳感器晶圓研發(fā)量產(chǎn)及測試服務(wù),。多維科技晶圓制造技術(shù)可達行業(yè)高標準要求,。晶圓測試服務(wù)包括晶圓測試程序開發(fā)，失效分析和可靠性測試等全面的測試服務(wù),。多維科技晶圓制造產(chǎn)線可根據(jù)客戶需求對生產(chǎn)工藝流程進行快速優(yōu)化,，從而為客戶提供高效的晶圓代工服務(wù)。

多維科技提供專業(yè)的設(shè)計和 IP 授權(quán)服務(wù)

多維科技晶圓代工設(shè)計服務(wù)可根據(jù)客戶需求,，提供磁傳感器設(shè)計或輔助設(shè)計,，包括掩膜版設(shè)計、磁器件仿真和工藝流程開發(fā)等各種晶圓代工設(shè)計服務(wù),。同時,，為了向客戶提供更好的晶圓代工設(shè)計服務(wù)，多維科技還開放了知識產(chǎn)權(quán) (IP) 授權(quán)服務(wù),，客戶可根據(jù)設(shè)計需求將多維科技相關(guān)的 IP 整合進自己的產(chǎn)品中,，實現(xiàn)產(chǎn)品開發(fā)量產(chǎn)進一步的降本增效。