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  P-6探針式輪廓儀是 KLA-Tencor公司設(shè)計(jì)制造的一種測(cè)量物體表面形貌（輪廓、階高,、粗糙度等）的設(shè)備,。通過(guò)儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量，是接觸式測(cè)量,。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些其他方法難以測(cè)量到的器件表面,，如凹槽、孔等等,。

  得益于KLA-Tencorg公司強(qiáng)大的技術(shù)能力，P-6探針式輪廓儀具有低噪高質(zhì),、高分辨率,、長(zhǎng)距掃描等顯著優(yōu)勢(shì)。其主要測(cè)量應(yīng)用包括：薄膜厚度及粗糙度,、光刻膠或軟性薄膜測(cè)量,、刻蝕槽深度、器件表面曲率及形狀,、應(yīng)力,、平坦度等。憑借其強(qiáng)大的應(yīng)用能力，P-6在半導(dǎo)體領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,。