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   X射線熒光光譜分析(X Ray Fluorescence,，XRF)由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。X射線照在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級 X射線被稱為X射線熒光。

  設(shè)備特點：

（1）分析速度高：測定用時與測定精密度有關(guān),，但一般都很短,，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素；

（2）X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān),，而且跟固體,、粉末、液體及晶質(zhì),、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）,；

（3）非破壞分析：在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象,，同一試樣可反復(fù)多次測量,，結(jié)果重現(xiàn)性好；

（4）X射線熒光分析是一種物理分析方法,，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析,；

（5）分析精密度高；

（6）制樣簡單,，固體,、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析,。