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  VR200型薄膜電阻測試儀是一個直流方式的四探針電阻測量系統(tǒng),，既可以測量硅片的電阻率或薄膜電阻，也可以測量經(jīng)過如離子植入,、外延生長,、擴(kuò)散等常用半導(dǎo)體工藝之后薄膜電阻，同樣也可測量導(dǎo)電層,，包括磁性膜的薄膜電阻值,。設(shè)備的自帶軟件可以將測量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成輪廓圖或3-D圖，以非常直觀的方式方便使用者查看電阻數(shù)據(jù)的分布,。